1036D2 アルカリ現像液自動管理装置   溶解レジスト濃度が正確に測定管理できるアルカ リ現像液自動管理装置を開発しました。 有効アルカリ濃度の測定は手分析と同じ方法なの で基準器として使用できます。 極めて高度な現像液管理を行うことで、更なる品質 や歩留まりの向上等、アルカリ現像液管理は新時 代に入りました。   9752 9752ファミリーエッチング液パーフェクトコントローラ   塩化第二銅（過酸化水素再生系）・塩化第二銅（塩素酸ナトリウム再生系）・塩化第二鉄の各エッチング液用三機種を開発しました。 無駄な機能は付加せず、コストパフォーマンスと使い安さを追求しました。新設計のメンテナンスフリーセンサーの採用、チタン製シャーシの採用、マルチCPU処理等の最先端技術を取り入れました。 9752CU 塩化第二銅 エッチング液 過酸化水素再生用 9752CLO3 塩化第二銅 エッチング液 塩素酸ナトリウム再生用 9752FE 塩化第二鉄 エッチング液用